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    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

    訪問次數:994

    更新日期:2020-11-13

    簡要描述:

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型
    配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。
    高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執行,而振動立即由高精度大功率執行器消除。

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

    配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。

    高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執行,而振動立即由高精度大功率執行器消除。

    我們地板側慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現了世界z高水平的隔振性能。

    在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現象的同時,還可以在短時間內同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

    配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標準設備。

    特點

    • 振動傳遞特性無共振。實現從低頻到高頻的超寬帶隔振。
    • 具有6個自由度的高精度位置控制始終可實現穩定的隔振性能和位置精度。
    • 可以選擇具有高響應速度的大流量閥,以應對較大的移動負載。
    • 安全可靠的設計與CE標記兼容。(控制器SAC-07)
    • 標配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

    用途

    • 在半導體制造和檢查設備中,它被用作對付需要精細處理的晶片上的振動的對策,并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
    • 在液晶制造和檢查設備中,其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動,并立即對其進行檢查或糾正,這有助于縮短節拍時間。
    • 在超精密機床中,它用于消除工作臺上的振動以進行精密加工,同時支持大載荷的運動。

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

    規范

    模型可安裝質量(1個單位)尺寸(1個單位)
    VAAV-550A270-900公斤215(寬)x 160(深)x 170(高)毫米
    VAAV-1000A500-1700公斤225(寬)x 210(深)x 170(高)毫米
    VAAV-2200A1100-3700公斤280(寬)x 240(深)x 208(高)mm
    VAAV-4000A2100-7000公斤330(W)x 270(D)x 208(H)毫米
    VAAV-10000A5000-17000公斤465(寬)x 400(深)x 240(高)mm
    VAAV-20000A11400-38000公斤600(W)x 600(D)x 284(H)毫米
    VAAV-30000A15000-50000公斤700(W)x 700(D)x 182(H)毫米
    HA-450水平執行器480(寬)x 365(深)x 405(高)毫米
     

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