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    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

    訪問次數:2007

    更新日期:2020-11-13

    簡要描述:

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型
    我們在地板側慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現了世界z高水平的隔振性能。
    在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現象的同時,還可以在短時間內同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

    配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。

    高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執行,而振動立即由高精度大功率執行器消除。

    我們在地板側慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現了世界z高水平的隔振性能。

    在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現象的同時,還可以在短時間內同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

    配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標準設備。

    特點

    • 在具有與VAAV-A系列相同的性能的同時,可以將設備的整體高度保持較低。
    • 氣動控制可實現各個方向的高精度位移和位置控制。
    • 可以選擇具有高響應速度的大流量閥,以應對較大的移動負載。
    • 安全可靠的設計與CE標記兼容。(控制器SAC-07)
    • 標配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

    用途

    • 在半導體制造和檢查設備中,它被用作對付需要精細處理的晶片上的振動的對策,并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
    • 在液晶制造和檢查設備中,其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動,并立即對其進行檢查或糾正,這有助于縮短節拍時間。
    • 在超精密機床中,它用于消除工作臺上的振動以進行精密加工,同時支持大載荷的運動。

    日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

    規范

    模型可安裝質量(1個單位)尺寸(1個單位)
    VAAV-1000-110H500-1700公斤240(寬)x 240(深)x 110(高)毫米
    VAAV-2200-110H1100-3700公斤350(W)x 350(D)x 110(H)毫米
    VAAV-4000-110H2100-7000公斤420(寬)x 420(深)x 110(高)mm
    VAAV-7000-120H3600?12000公斤450(W)x 450(D)x 120(H)毫米
     

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