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    日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

    訪問次數:849

    更新日期:2022-08-22

    簡要描述:

    日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22
    半導體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)

    日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22
    類型數字式測量范圍1

    日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

    <用途>

     

    半導體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)

     

    <功能>

     

    1. 1??梢酝ㄟ^空氣背壓法進行非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),并且不會造成刮擦和污染等損壞
    ??梢暂p松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),而無需依賴諸如薄膜和彩色光澤之類的材料
    。潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
    。即使鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
    。由于使用上下測量噴嘴進行測量,因此
       可以精確地測量“厚度”,而不受測量對象“打滑”引起的提升的影響。
     ?。ㄒ部梢赃x擇“滑行”測量(* 1))
    6。由于操作簡便,因此可以非常輕松地進行測量和校準(* 2)。

    <測量原理>

    精確控制上下測量噴嘴的背壓,對噴嘴進行定位,使噴嘴和被測物體之間的間隙保持恒定,并使用預先用基準量規校準的值進行比較計算處理。對被測物進行測量操作,可以精確計算出厚度。

    日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

    <性能>

      分辨率0.1μm
      重復精度10次重復測量時的標準偏差(1σ)0.3μm以下
      z大測量范圍 10mm(* 3)
      供應能源電源AC100V 50 / 60Hz 3A
                清潔空氣0.4MPa 20NL /分鐘(* 4)

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