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    臺式隔振臺

    訪問次數:1037

    更新日期:2021-06-02

    簡要描述:

    日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
    包括半導體行業在內的超精密加工領域的制造、檢測和測量,正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌,準確捕捉這些時代的需求,并為超微振動提供隔離空間。

    臺式隔振臺

    日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

     

    包括半導體行業在內的超精密加工領域的制造、檢測和測量,正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌,準確捕捉這些時代的需求,并為超微振動提供隔離空間。
    我們準備了支持更大直徑的半導體和液晶基板、由于更大的底座而導致更大的檢查設備和更重的產品陣容。
    該系統可以通過與制造檢測線和眾多選項相匹配的簡單設計進行精美配置。

     

    EHS/DHS規范

    針對超精密檢查/測量設備的高性能防振臺?

    EHS-68(帶下擱板)

    模型EHS-68EHS-78EHS-87EHS-107
    隔振臺外形尺寸
    (W x D x Hmm)
    600 x 800
    x 750
    700 x 800
    x 750
    800 x 700
    x 750
    1,000 x 700
    x 750
    產品重量(公斤)170190190220
    允許安裝重量(kg)120
    隔振方式空氣彈簧和擺球支撐系統(PAT .P / USP)
    固有頻率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
    調平機械泡自動找平方式:供給壓力0.4Mpa
    浮動部分SUS304 拋光處理
    選項工作罩、抗震固定支架、下擱板
    其他可用于無塵室(帶集中排氣機構和防靜電接地功能)
    符合RoHS指令

     

    臺式隔振臺 DHS

    DHS 系列是在 EHS 系列上帶有工作罩的型號。您可以工作而不必擔心觸摸浮動部分。?

    DHS-68(帶下擱板)

    模型DHS-68DHS-78DHS-87DHS-107
    隔振臺外形尺寸
    (W x D x Hmm)
    650 x 850
    x 750
    750 x 850
    x 750
    850 x 750
    x 750
    1,050 x 750
    x 750
    產品重量(公斤)175195195225
    允許安裝重量(kg)120
    隔振方式空氣彈簧和擺球支撐系統(PAT .P / USP)
    固有頻率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
    調平機械泡自動找平方式:供給壓力0.4Mpa
    浮動部分SUS304 拋光處理
    選項抗震固定支架,下擱板
    其他可用于無塵室(帶集中排氣機構和防靜電接地功能)
    符合RoHS指令

    日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

    DAS/SRD/SVD規格

    臺式隔振臺DAS

    兼容光學顯微鏡/粗糙度儀等大負載?

    DAS-68(帶下層架)

    模型DAS-68DAS-78DAS-87DAS-107
    隔振臺外形尺寸
    (W x D x Hmm)
    650 x 850
    x 750
    750 x 850
    x 750
    850 x 750
    x 750
    1,050 x 750
    x 750
    產品重量(公斤)180200200230
    允許安裝重量(kg)200
    隔振方式空氣彈簧
    固有頻率 (Hz)縱橫2.0-3.0
    調平機械泡自動找平方式:供給壓力0.4Mpa
    浮動部分SUS304 拋光處理
    選項抗震固定支架,下擱板
    其他可用于無塵室(帶集中排氣機構和防靜電接地功能)
    符合RoHS指令

     

    臺式隔振臺 SRD/SVD

    配備測量顯微鏡/粗糙度儀等。?

    SVDA (wing, Saidodesu
    click (ED), monitor stand, mouse
    scan / with keyboard stage)

    模型SRDASVDASRDC直流電源SRDR
    隔振臺外形尺寸
    (W x D x Hmm)
    590 x 720
    x 715
    770 x 720
    x 715
    590 x 720
    x 715
    770 x 720
    x 715
    590 x 720
    x 715
    產品重量(公斤)701057010570
    允許安裝重量(kg)12020012020045
    隔振方式空氣彈簧特制橡膠彈簧墊
    固有頻率 (Hz)縱橫2.0-3.0垂直和水平 8.0 到 12.0
    調平機械泡自動找平方式:供給壓力0.4Mpa手泵補水手動調節特制橡膠彈簧墊
    浮動部分SPCC(三聚氰胺樹脂涂層)
    選項側翼、側桌 (ED) ED、顯示器支架、鼠標/鍵盤支架

    關于臺式隔振臺的使用:如果安裝設備的重心位置超過短邊標示尺寸的1/2高度。

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